空气洁净技术的昨天今天明天

空气洁净技术的昨天今天明天

    空气洁净技术是二次世界大战后才开始形成和发展起来的环境工程技术。目前在加工、宇航工业、微电子工业等众多工业领域得到广泛应用，并以更加迅猛的发展趋势扩展到医疗、制药、食品、化妆品、无菌培植、遗传工程等生物洁净技术领域。

    二战前的加工业其只在微米级水平上，尚无控制尘埃污染的要求。随着生产水平的提高，首先是军事工业和微加工技术对空气中尘埃粒径的控制要求提到了亚微米级别。对尘埃与产品质量间的关系有了量的概念

    于50年代初结合曼哈顿研究计划，美国宇航工业率先研制成功第一台高效能尘埃粒子过滤器开始，又建成世界第一个高级别平行流空气洁净室，保证了60年代微加工业顺利地跨入了亚微米级外，使胶片的解相力每一毫米宽度能记录下可分辩的单线条数发展到全息干版3000条线。而70年代开始出现的超大规模集成电路，其掩膜厚度已达到十分之几到百分之几微米，电器元件之间的金属联线之宽度一光刻基本图形尺寸，小达到0.01微米。一颗尘埃，即使小到0.01微米也能使大规模集成电路片形成针孔或电路切断、短路等事故而报废。微电子工业从一九七五年动态随机存储器DRAM 16K到一九九八年的256K，平均每三年容量增加五倍，今后对小尘埃粒径从目前的0.1微米控制技术还要低一至二个数量级。

    与上述空气洁净技术在深度上不断发展的同时，在生物净化领域得到了更广泛的应用，成为今后主要发展方向和扩展的应用领域。

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