无尘室空气过滤器泄漏测试

高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器。D 类高效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

    采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于等于 0.5μm 尘粒，浓度应大于或等于 3.5×105pc/m3；或对大于或等于 0.1μm 尘粒，浓度应大于或等于 3.5×107pc/m3；若检测 D 类高效过滤器，对大于或等于 0.1μm 尘粒，浓度应大于或等于 3.5×109pc/m3。

    高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面 20～30mm 处，以 5～20mm/s 的速度，对过滤器的表面、边框和封头胶处进行移动扫描检查。

    泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 2 倍；D 类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的 3 倍。

    在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行定点检验。

    室内空气洁净度等级的检测

    空气洁净度等级的检测应在设计指定的占用状态(空态、静态、动态)下进行。

    检测仪器的选用:应使用采样速率大于 1L/min 的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率。仪表应有有效的标定合格证书。

采样点的规定:

1在水平单向流时，面积 A 为与气流方向呈垂直的流动空气截面的面积。限度的采样点数 NL按公式 NL=A0.5 计算(四舍五入取整数)。

2 采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度(距地坪 0.8m 的水平面)，或设计单位、业主特指的位置。

采样量的确定:

2 每个采样点的至少采样时间为 1min，采样量至少为 2L；

3 每个洁净室(区)至少采样次数为 3 次。当洁净区仅有一个采样点时，则在该点至少采样 3 次；

4 对预期空气洁净度等级达到 4 级或更洁净的环境，采样量很大，可采用ISO14644—1 附录 F 规定的顺序采样法。

检测采样的规定:

1 采样时采样口处的气流速度，应尽可能接近室内的设计气流速度；

2 对单向流洁净室，其粒子计数器的采样管口应迎着气流方向；对于非单向流洁净室，采样管口宜向上；

3 采样管须干净，连接处不得有渗漏。采样管的长度应根据允许长度确定，如果无规定时，不宜大于 1.5m；

4 室内的测定人员必须穿洁净工作服，且不宜超过 3 名，并应远离或位于采样点的下风侧静止不动或微动。

记录数据评价。空气洁净度测试中，当全室(区)测点为 2～9 点时，须计算每个采样点的平均粒子浓度 Ci 值、全部采样点的平均粒子浓度 N 及其标准差，导出95%置信上限值；采样点超过 9 点时，可采用算术平均值 N 作为置信上限值。

1 每个采样点的平均粒子浓度 Ci 应小于或等于洁净度等级规定的限值。

2 对于非整数洁净度等级，其对应于粒子粒径 D(μm)的大浓度限值(Cn)，应按下列公式计算求取。

3 洁净度等级定级的粒径范围为 0.1～5.0μm，用于定级的粒径数不应大于 3 个，且其粒径的顺序级差不应小于 1.5 倍。

4 全部采样点的平均粒子浓度 N 的 95%置信上限值，应小于或等于洁净度等级规定的限值。即:

(N + t × s / n) ≤级别规定的限值

式中 N—室内各测点平均含尘浓度，N=ΣCi/n；

n—测点数；

s—室内各测点平均含尘浓度 N 的标准差:s=

t—置信度上限为 95%时，单侧 t 分布的系数。

每次测试应做记录，并提交性能合格或不合格的测试报告。测试报告应包括以下内容:

1 测试机构的名称、地址；

2 测试日期和测试者签名；

3 执行标准的编号及标准实施日期；

4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图；

5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差；

6 测量用的仪器的编号和标定证书；测试方法细则及测试中的特殊情况；

7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌的菌落数)；

8 对异常测试值进行说明及数据处理。

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